纳米尺度压电薄膜PZT的结构特征和性能

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时间：2009-03-06 12:01 来源： icbuy亿芯网

采用改进的溶胶-凝胶（Sol-Gel）方法在Pt／Ti／SiO2／Si基片上制备锆钛酸铅（PZT）纳米晶薄膜，研究了不同的热处理方式对PZT薄膜的晶粒结构、尺寸及电学性能的影响。X射线衍射（XRD）分析表明：传统的热处理方式更有利于得到具有一定择优取向性的PZT薄膜。原子力显微镜（AFM）显示：快速热处理方式使PZT薄膜的晶粒具有自形晶结构，晶粒的排布更为有序，从而改善了薄膜的致密性。阻抗分析仪的测试结果表明：经快速热处理的薄膜，漏电流大约比传统热处理处理的薄膜的漏电流降低了20倍左右。

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